在精密機械零件加工中，光學機構幾何量測微測量儀按照參照工具基本上可以為分為四大類：干涉儀、自準直光管式儀器、顯微鏡式儀器、投影式儀器。

　　在精密機械零件加工中，顯微鏡式儀器和投影式儀器，是把被測量件經光學系統放大成像，采用光學的示值系統對象進行測量。放大多少倍測量，比目視不放大瞄準測量的精度也提高多少倍。

　　在精密機械零件加工中，自準直光管式儀器由望遠鏡和平行光管組成，用準直光管的示值系統對用望遠鏡獲得的像進行測量。其放大倍率M（望）是望遠鏡的物鏡焦距F（物）和目鏡焦距F（目）之比：M（望）＝F（物）／F（目）。它與被測精密機械零件加工物體的位置無關，因此擴大了儀器的用途。自準直光管光學示值系統是一些光學儀器的組成部分，如與正切機構可以組成測微機構光學比較儀及０．２μｍ的影屏讀數光學比較儀，也可以單獨使用。

　　在精密機械零件加工中，干涉儀是根據光波干涉原理設計的測微機構，以光源波長為基準實現最微量的測微機構。特別是激光光源的出現和激光技術、電子技術的發展，更擴展了精密機械零件加工的干涉測微機構的應用范圍。